台積電自今年初開始，在十二吋廠投片數即已超過五千片，目前月投片量已經在八千至一萬片的水準，預計年底投片量將達一萬二千片。雖然台積電副總執行長曾繁城對前往經濟部遞件的傳言全盤否認，但台積電內部仍有消息指出，的確在這幾日就將遞件至經濟部，若政府相關單位審查過程順利，公司方面的規畫是在八、九月間政府審查通過之後，再進一步確認與大陸方面的地點洽談。

三月底行政院在制定八吋晶圓廠赴大陸投資的資格時，即設定半導體公司的十二吋廠需建廠完成，且達成進入基本量產連續達六個月以上，才能提出申請。當時經濟部長林義夫曾特別針對「基本量產」提出解釋，為工廠製程技術通過產品客戶驗證並接到客戶訂單，且正常出貨時間連續達六個月。在三月底那場記者會中，林義夫亦表示，台積電已接近量產，未來還需觀察是否有其它廠商接單情況。

至於經濟部一旦核准台積電赴大陸投資後，台積電會搬動哪一座廠的舊設備，曾繁城也未明說，只簡單說「就是舊的設備」。但業界普遍認為，根據台積電現有八吋晶圓設備中，最有可能移至大陸者可能是原為德碁半導體的晶圓七廠。