记忆体商??侠株式会社(Kioxia Corporation),今日宣布开发出全新记忆体技术OCTRAM (Oxide-Semiconductor Channel Transistor DRAM),这是一种新型 4F2 DRAM,采用具备高导通电流和超低截止电流的氧化物半导体电晶体。此技术预计将藉由InGaZnO晶体的超低漏电特性实现低功耗DRAM。
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该技术於2024 年12月9日在美国加州旧金山举行的 IEEE 国际电子元件会议 (IEDM) 上首次发表,由南亚科技和??侠共同开发。这项技术有??降低包括人工智慧、後5G通讯系统和物联网产品等各种应用的功耗。
OCTRAM采用圆柱形 InGaZnO垂直电晶体作为单元电晶体。这种设计可适用於4F2 DRAM,与传统的矽基 6F2 DRAM相比,在记忆体密度方面具有显着优势。
透过元件和制程最隹化,InGaZnO 垂直电晶体实现了超过 15μA/cell (1.5 x 10-5 A/cell) 的高导通电流和低於 1aA/cell (1.0 x 10-18 A/cell) 的超低截止电流。在 OCTRAM 结构中,InGaZnO垂直电晶体整合在高深宽比电容器的顶部(电容器优先制程)。这种布局允许将先进电容器制程与 InGaZnO性能之间的相互作用分离。