设备向来是半导体制造商花钱最多的地方，而且半导体设备制造技术一直垄断在外商手中。不过最近设备代理大厂汉民科技打破外商垄断局面，将自制离子植入机送进茂德中科十二吋厂，消息震动竹科各家设备大厂。

日前茂德在中部科学园区的十二吋厂晶圆厂决定，未来在扩散制程中，将采用汉民转投资公司汉辰科技制造的iStar离子植入机；由于离子植入机向来由美商应用材料（AMAT）、瓦利安（Varian）、亚舍立（Axcelis）三大外商所盘据，因此汉辰这次突破外商防线，进驻茂德厂，设备商方面备感威胁。

由于每台离子植入机造价超过上亿元，而每座晶圆厂至少需要八到十台，业界认为这次汉辰进帐饱饱，特别是代理商品利润不如自制机器高，业界认为若营销情形顺利，对公司盈余贡献度将提高许多。

汉民与茂德双方皆不愿透露第一阶段进驻台数，避免产能数据曝光，但是业界人士认为，由于茂德中科厂产能设备尚在扩充之中，因此第一阶段可能只有五台以下植入机先进厂，未来一年内才会慢慢补足到接近十台。

汉辰科技是汉民转投资的设备制造公司，尽管汉民已经是台湾最大的几家半导体设备商之一，代理的日本TEL等品牌市占率极高，但是设备代理商一直存在品牌独立出走的威胁，因此积极研发设备制造技术。