台积电副总执行长曾繁城一日对政府开放八吋晶圆厂赴大陆投资表示欢迎，对于台积电十二吋厂运转状况，他表示目前月产能约三千片，最近并将有多项客户产品验证通过，估计二、三个月内可达到量产规模；另一方面，联电业务长刘富台二日亦表示，联电近期产能扩充的速度相当快，主要都是用在扩充12吋晶圆厂上。他说，联电12吋厂、0.13微米制程已开始有实际产出，主要就是美商智霖(Xilinx)已开始下单投产。

刘富台说，衡量12吋晶圆厂的经济生产规模不用到月产2万片，因为即使是月产1万片的产能，也等于是8吋晶圆厂2.25万至2.7万片的月产能，而这已是业界认为的「达到经济生产规模」的产能。曾繁城则认为，台积电十二吋厂产能扩充计划也相当积极，预计今年将以每个月增加一千片的速度，年底时可达一万至一万三千片月产能。台积电近期也将在大陆开始评估建厂用地，将闲置的老旧设备移往生产。

至于晶圆代工双雄会在何时提出8吋晶圆旧设备赴大陆投资的申请，曾繁城说「很多事情不用急」，大陆市场并不是今天不去明天就会饿死的。他表示，过去业界会感觉比较急是因为不知道该怎么做，现在已经知道方向了，就可以展开布局。