经济部与业者密集研商含8吋晶圆以下晶圆产业登陆管理机制，在业者质疑可能独厚台积电与联电半导体双雄后，经济部产官学项目小组放弃总量管制或配额制的审查方式，改采只要符合使用旧厂设备、在台相对投资金额比例大及主要在海外筹资等条件，即优先放行。经济部官员坦承，上周第一次开会讨论晶圆厂登陆管理机制时，幕僚单位曾经建议采总量配额管制，也就是每年准予赴大陆投资的配额量为200亿元，但构想一提出，业者反对声浪四起，认为此举除了独厚台积电、联电半导体双雄，也担心每年200亿元，顶多只允许三家厂商登陆，配额该分给谁，会有公平性争议。因此，决定放弃200亿元的年投资配额指针。

为避免业者一窝蜂登陆，及考虑公平性对晶圆业者提出的大陆投资申请案，经济部将采「定期受理」审查制，一改过去「先到先审」的做法。此项做法，也可以让政府针对各家厂商的大陆投资申请计划，例如根留台湾比重、全球布局迫切性及资金筹措来源情形，进行评比。

经济部表示，构想中的「定期受理」制，考虑由经济部定期公布受理晶圆厂商赴大陆投资申请期限。厂商只要在截止受理期限前向投审会提出申请，投审会将依据厂商提出的大陆投资计划进行审查。经济部常务次长陈瑞隆二十五日也指出，晶圆登陆的有效管理机制，目前仍停留在作业阶段，业者间还在「协商阶段」，经济部没有默认立场。有关官员透露，经济部将考虑以业者旧厂设备登陆或在台相对投资、资金筹措计划等方式进行项目审查。