晶圆接合暨微影技术设备商EV Group（EVG）今天宣布已在奥地利的企业总部，完成兴建全新五号无尘室大楼。全新的大楼从头到尾采用最新无尘室设计与建筑技术，并让EVG总部的无尘室产能几??增加一倍，未来将用於开发产品与制程的展示设备、开发原型机和试量产的服务。五号无尘室大楼是去年宣布的3,000万欧元投资的一部份，预计将於八月正式启用。

EV Group的五号无尘室设施的先进附属制造无尘室（sub-fab），用以确保最高的妥善率与全新的安全功能

全新的五号无尘室大楼直接与EVG现有的无尘室及应用实验室相连，可以提供约620平方公尺十级无尘室的额外楼板空间。新大楼同时设有可在EVG设备平台上训练客户与工程师的多个专属区域的现代化训练中心。这次的扩大投资也包含现有的无尘室与应用实验室设施的升级，并确保最高的妥善率与全新的安全功能。

强化EVG核心技术

全新的五号无尘室大楼增加的产能，将强化EVG提供世界级制程开发服务的NILPhotonics技术中心与异质整合（Heterogeneous Integration）技术中心的能力，并为微电子供应链的客户与合作夥伴，提供开放的创新育成中心。透过这些卓越的核心技术，EVG协助客户加速技术开发、将风险降至最低，并利用奈米压印微影技术与异质整合，协助开发出具差异化的技术与产品，同时确保发表产品前所需的最高智慧财产（IP）保护标准。

EV Group技术开发和IP总监Markus Wimplinger表示：「我们对於兴建这座全新无尘室所涵盖的技术创新与专业知识，感到非常自豪。从整座建筑到最微小的细节，这可谓一座真正世界级、最先进的设施，可以说是与一些欧洲技术最先进的无尘室平起平坐。」

Markus Wimplinger进一步指出：「对於EVG而言，这座新设施将大幅强化我们与客户共同开发未来应用与技术的能力，我们认为它将让近来特别活跃且需求极高的技术中心受益。我们的NILPhotonics与异质整合技术中心提供的独特服务，让我们的客户与合作夥伴得以缩短开发周期，并在这些关键的应用领域打造出卓越的产品。」

拥有各个技术中心与强大客户夥伴关系的EVG处於独特的地位，可以为客户提供不间断的制程开发服务与支援。在此同时，EVG的在地安装与支援团队以及远端的支援能力，让EVG的设备得以持续进行优秀的安装与服务。

EVG亦於7月20日至23日举行的线上SEMICON West展示其完整的晶圆接合、微影与光阻制程解决方案。