根据国内媒体报导，经济部积极推动目前在全球半导体制程设备市场排名第二的日本东京电子，与国内业者合作投资设备系统大厂，此案不但已获东京电子正面回应，国内也有多家业者表达参与意愿，预估初期投资额将达三十亿元以上。

台湾半导体及TFT-LCD制程设备市场，每年约有一千多亿元至三、四千亿元的采购商机，占全球市场的20％；近年来，经济部亟欲掌握并发展国内投资生产半导体及TFT-LCD制程设备，近期更计画联合业界投资筹组系统设备大厂，以吸引国外厂商来台参与投资。

目前在台湾制程设备市场占第一位的厂商为美商应用材料公司，占有率约四成，而排名第二的东京电子约二成八，两家业者均在国内销售半导体及TFT-LCD制程设备并从事售后服务，但皆尚未在国内投资生产。

经济部原本有意争取应材在国内投资生产或技术移转，经济部高层也曾多次拜会应材美国总公司，但迄今应材尚未回应、该公司技术移转的情况也不明显，无助国内发展制程设备产业，经济部因而决定转向争取东京电子来台投资生产，除了已获回应之外，未来双方也有机会共同投入研发合作。

经济部指出，外商与国内业者合作在台生产，可解决设备运输不易的问题，运输方便及降低运费，又可就近服务国内半导体及TFT厂，也可达到设备国产化目标。

经济部指出，推动国外大厂来台建立研发、制造、维修及物流据点，将促使我国成为亚太地区供应中心，除供应国内相关业者，也可销往中国大陆市场，不必担心未来半导体厂外移问题。