账号:
密码:
最新动态
产业快讯
CTIMES/SmartAuto / 新闻 /
家登精密选择VICTREX PEEK聚合物
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2007年06月13日 星期三

浏览人次:【7830】

VICTREX PEEK聚合物、VICOTE涂料和APTIV薄膜等高性能材料制造商英国威格斯公司(Victrex plc)宣布,光罩全方位解决方案供货商-家登精密股份有限公司已采用VICTREX PEEK聚合物作为其最新款150mm单光罩标准机械接口传送盒,简称光罩传送盒(single-reticle SMIF-pod;RSP)应用的主要组件材料。透过将VICTREX PEEK聚合物具高硬度、极少的微粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性用于与光罩的所有接触点上,此款专门设计的光罩传送盒,能有效地在生产、传送以及处理光罩过程中,减少微粒的产生与气体的释出。

光罩传送盒应用的关键在处理传送盒的过程中,包括打开与关上输送箱时,需减少或避免微粒的产生或气体的释出。因此,严格选择传送盒的材料是相当重要。家登精密技术经理李柏欣表示:「处理和打开光罩传送盒可能会导致光罩受到污染与损坏。此外,当半导体晶圆制程中透过传送盒隔开光罩时,传送盒必须满足几项重要的要求,包括:限制接触面积,以确保光罩仅与斜削角接触,而且不会在传送盒内滑动;微粒区隔,以保护较小的图形与大大降低晶圆制造成本;作业员区隔,以避免光罩处理失误和刮伤以及ESD破坏;制程控制,以避免处理日益复杂的光罩时出现失误。」

由于VICTREX PEEK聚合物具有高硬度、极少的微粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性,家登精密工业可放心地采用VICTREX PEEK聚合物于其光罩传送盒的某些关键接触点与处理点上。此外,VICTREX PEEK具有卓越的耐化学性、耐磨损性、耐水解性、优秀的电介质强度以及出色的耐辐射性能,因此能够满足、甚至超越该应用对关键材料的全部要求。特别是,VICTREX PEEK的微粒脱落特性较其他竞争材料更为优越,而且具有极低的可萃取物特性或挥发特性。李柏欣表示:「VICTREX PEEK独特的综合特性、优异的释气与微粒性能是我们选择Victrex 的最大原因。」

關鍵字: 家登精密  VICTREX  製程材料類 
相关新闻
中勤与Victrex合作 打开台湾设备市场大门
威格斯上海亚洲创新与技术中心 设备技术升级
VICTREX PEEK聚合物应用于小型电磁流量传感器
中勤玻璃基板卡匣成功导入国内LCD7.5代线
家登精密推以Victrex聚合物为基材的8吋晶舟
comments powered by Disqus
相关讨论
  相关文章
» 智慧型水耕蔬菜云端控制系统
» 减碳问题刻不容缓 再生能源势在必行
» 云端语音辨识
» 塑胶圆形医疗连接器选择指南
» 『后摩尔时代 翻转智能新未来』技术论坛会后报导


刊登廣告 新聞信箱 读者信箱 著作權聲明 隱私權聲明 本站介紹

Copyright ©1999-2024 远播信息股份有限公司版权所有 Powered by O3  v3.20.1.HK8BU2573JESTACUKW
地址:台北数位产业园区(digiBlock Taipei) 103台北市大同区承德路三段287-2号A栋204室
电话 (02)2585-5526 #0 转接至总机 /  E-Mail: [email protected]