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高速全自动检测设备客制化开创晶圆检测无限商机
【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】 2015年08月05日 星期三
浏览人次:【10064】
随着消费性电子产品需求快速增长,对于IC精密检测的需求亦不断提高,推动了自动化检测设备的市场发展。国家实验研究院仪器科技研究中心(以下简称仪科中心)透过「光学系统整合研发联盟」平台,结合巨积精密与台湾师范大学机电工程系张天立教授研究团队,共同研发「晶圆电性测试暨电路瑕疵检测设备」,可协助国内厂商于半导体后段制程中快速精准判断与筛选晶圆良窳。
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