SEZ Group近期发表旋转型潮湿表面处理创新方案。新型Da Vinci系列方案具有最高产量与最小空间两项优势，为单晶圆制程提供高阶的服务及可靠性。此款产品的模组化及多重反应室的设计能提供可靠的制程方案，进而大幅降低持有成本，同时满足全球客户对高产量制程的需求。 Da Vinci方案结合SEZ通过产能验证及创新研发的各种最佳技术，将协助业界加速转移批次处理至单晶圆清洗技术。

现今的制造商需要精密的后段制程聚合物材料清洗系统，这些系统不但不会减缓生产线的速度，也不会增加生产线的复杂度，而此项需求在产能吃紧时，更将成为优先考量。 Da Vinci系列方案的第一款产品- DV-38F，内含八个反应室，其是针对90奈米以下12吋晶圆之后段制程所设计。 SEZ宣布已在高成长的亚洲市场接获第一笔DV-38F订单，新系统将取代无法满足客户对于可靠度需求的其它厂牌工具组，并预计于今年第三季将出货。