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传中芯国际将进军光罩市场业界反应不一
 

【CTIMES / SMARTAUTO ABC_1 报导】    2003年03月26日 星期三

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据电子时报报导,业界传出中国大陆晶圆业者中芯国际,将提供该公司因订单不足而无法充分利用的光罩曝光设备(writer),开始承接「纯光罩订单」,光罩业者担忧此一消息若属实,可能直接冲击大陆光罩市场。但亦有业界意见指出,中芯承接光罩订单并不符合经济效益,也可能会使客户对其保密条件产生质疑,中芯的另辟财源之路恐难顺利。

该报导指出,在大陆仅中芯拥有自己的光罩厂,其他晶圆厂的光罩都是由专业光罩厂提供;目前中芯共有4台光罩曝光设备、1台电子束曝光机、 3台雷射曝光机,技术水准都是0.18微米制程,可扩充至0.15微米制程。但因为中芯现有产出量约2.5万片,其中大多数产出是DRAM,由于DRAM制程属于标准大量生产,对于光罩的依赖程度不如逻辑代工产品来得重要,因此,中芯的光罩曝光设备利用率并不佳。

由于0.18微米制程的曝光设备昂贵,将设备闲置不如承接光罩订单,据业者指出,中芯已计划将对外接纯光罩订单,如此一来中芯与原本是上、下游关系的光罩厂,因而成为竞争对手。目前大陆光罩市场方面,上海杜邦拥有一半以上市场占有率,其他则是国资企业及一些研究所,以及小部分是台湾光罩提供。中芯若承接光罩订单,恐对大陆光罩产业的市场价格产生冲击。

但亦有业者意见指出,目前大陆半导体主流技术是0.5~0.6微米制程,大陆本土IC设计公司对于0.25微米制程技术仍属陌生,若中芯接光罩订单,可能是将高阶曝光设备制造低阶光罩产品,如此作法相当不符合经济效益。此外因为光罩制作与微影制程密不可分,除了是重要技术外,客户的电路图也必须保密,这是专业光罩厂必须向客户保证的最重要先决条件,若中芯的光罩部门另外承接光罩订单,客户将会质疑其保密条件,预计中芯这条路将走的辛苦。

關鍵字: 中芯  其他電子邏輯元件 
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