路透社消息，国际半导体设备暨材料协会（SEMI）日前公布最新数据指出，2月全球半导体设备销售较上月下滑5.2％，金额达24.69亿美元，衰退的主因是其在北美、欧洲及日本的销售额均有减少。但SEMI指出，2月销售额较上年同期成长66.5％，为连续第七个月较去年同期成长。

该报导指出，和上月相比，半导体设备的销售额自去年12月达到26.11亿美元后，即逐月微幅下滑。去年12月销售额为2001年4月达28.7亿美元后最高。据SEMI预估，由于日本半导体厂商通常会在会计年度的最后一个月大量接单，因此预期3月销售将会转趋稳健。

SEMI亦表示，因市场景气成长趋势仍然相当强劲，该机构预期3月也将有不错的销售数据，以地区来看，北美、欧洲、日本及中国的2月销售均较上月衰退，韩国则大幅成长42％，台湾则成长9.64％达5.598亿美元。

而各地12吋晶圆厂兴建热，亦是设备厂商业绩成长主力；日本半导体设备厂商Tokyo Electron即因新的12吋晶圆厂机械设备需求强劲，而将3月31日截止的会计年度的获利预估调高近一倍。