Zygo Corporation发布LIFTS（LCD浮法玻璃干涉测量输送系统）商标的新型平面测量系统。这一新产品为在大型LCD面板上实现精密测量和检验提供了全新的玻璃处理解决方案。

ZYGO设计的LIFTS系统满足了当前和未来G8+以及更大尺寸玻璃的LCD技术发展要求。新平台解决了尺寸大于2000毫米的玻璃在晶圆环境下的处理难题。这些难题自身表现为静电和振动形式，从而导致中期检验和测量过程中出现问题，而中期检验和测量对于保持晶圆产量是至关重要的。

ZYGO受控空气输送机和精密气动卡盘将玻璃从测量工具中移进移出，使玻璃一直保持在气垫上。新发布系统提供了更快的工具处理时间以及优秀的测量性能。此外，在VC-B晶圆环境下工具还能保持规定的性能，这对降低晶圆厂造价是至关重要的。

Zygo显示方案事业部高级副总裁兼总经理Brian Monti说："LIFTS的引入是ZYGO的一大技术进步。LIFTS平台不仅为下一代LCD晶圆厂提供了具有高成本效率的解决方案，同时还开创了新型检验和测量方案，可进一步提高晶圆产量并实现生产力目标。我们很高兴市场对ZYGO新型产品平台十分认可。"