工商时报消息，因各大半导体业者积极兴建12吋晶圆厂，相关设备抢手，设备业者甚至推出预付四成订金保证优先交机权的条件，首开风气之先的是12吋晶圆显影设备（photolithography）最大业者ASML。

该报导指出，目前显影设备的订单至交货时间（lead time）约为12个月，由于ASML的12吋设备售价至少超过1000万美元，高阶机种则将近3000万美元，而四成订金约在600万美元，对于手中现金不够充裕的晶圆厂而言负担不小。

但包括台积电、联电等大客户，由于手中现金充裕，且ASML收取订金后保证优先（priority）出货，且在总价上小幅度折让，据悉台积电与联电皆已向ASML缴付订金。目前12吋晶圆制造的显影设备，基本格为光源波长248奈米，单价在1200万美元以上，进阶机种规格则为光源波长193奈米，价格接近3000万美元。