台湾半导体与光电设备专业设计制造商中勤实业(Chung King Enterprise)宣布,其所生产的以VICTREX PEEK为基材的玻璃基板卡匣已成功导入国内TFT-LCD大厂7.5代生产线。这款TFT-LCD设备通常由日韩厂商提供,中勤实业的成功研发、量产并获得国内面板大厂采用,代表着台湾TFT-LCD制程设备产业已逐渐实现国产化。本地研发与生产制造的TFT-LCD设备与零件,不但可大幅降低台湾面板厂的制程成本,并可为其提供更优质与迅速的整体技术支持。
玻璃基板卡匣(俗称液晶架;LCD Cassette)主要应用于TFT LCD各项制程中承载、传送和保护玻璃基板的设备。VICTREX PEEK主要用于玻璃基板卡匣内与基板接触之处,其所拥有的高纯度、抗静电性与耐磨耗性,可避免生产过程中因摩擦产生的发尘或析出物污染,这对于与玻璃基板直接接触的卡匣尤其重要。优异的抗静电性能可避免和减少玻璃基板在传送时静电产生或累积,进而确保或提升面板的生产良率与质量。
中勤实业总经理江枝茂表示:「由于次世代面板产线体积庞大,在运送风险及成本也相对提高,因而面板厂多倾向采用本土设备并积极扶植本土设备商,TFT-LCD设备国产化已是台湾产业的必然发展趋势。目前中勤实业所生产的玻璃基板卡匣已获得友达光电7.5代生产线采用,未来我们并将持续投入TFT-LCD设备的开发以及更积极争取大中华地区次世代面板厂的设备订单。」
中勤实业产品研发部经理颜晖展表示:「玻璃基板卡匣由一代跃升至另一代时,除尺寸大小变大外,机械结构、重量、取放稳定性等都必须重新考虑。若因卡匣结构设计不良导致玻璃碎裂而破片时,动则四、五小时的处理时间,常使得其他正常生产的排程也被影响。经由我们不断的实验与测试下,完成玻璃基板卡匣在地设计与制造,不但可促使国内相关设备厂商之研发能力提升,带动台湾相关整体产业投资及产值的增加,间接使国内面板业更具竞争力,领导全球国际市场。」
威格斯台湾区总经理李自立表示:「身为领先全球的高性能材料制造商,我们很高兴看到VICTREX PEEK聚合物不断被半导体与光电制造厂与设备商所使用。VICTREX PEEK是目前市场上具最佳综合性能、可多重加工的聚合物,特别适用于对制造过程要求极为严苛的LCD与半导体产业。VICTREX PEEK所拥有的卓越特性,可显著地提升LCD制程效率与良率、降低制造成本、以及带来创新设计与设计灵活性。」
VICTREX PEEK所拥有的优越特性是如PI、PPS、PEI等材料所无可比拟的,这些特性对于平面显示器(LCD)的制程或成品都相当重要,包括抗静电性,可减少与避免因摩擦产生的静电而影响制程良率;耐磨耗性,高表面硬度,可大幅减少发尘量;超高纯度,低析出物与低释气性,可避免污染,进而提高制程良率;耐高温性,在每段制程间无需降温,进而提升制程效率;耐化学性,可承受大部分的化学物质,用于制程设备的关键性零件可以延长设备的使用寿命与减少设备维修需求。