受到这两年来疫情影响国内外自动化工业展时程，各家自动化厂商纷纷于今年台北国际自动化工业展上，倾巢而出过去所累积的技术能量及产品。东佑达自动化公司（Toyo）则不仅在规划「滑台模组」、「电动缸」、「单轴机械手」、「线马模组」、「桌上型/直交机械手」、「无人搬运系统」6大展区，同时将透过新成立「东佑达奈米系统公司」，提供产业链最佳自动化解决方案。

目前东佑达奈米系统公司已成功售出数十部空气轴承单轴、龙门双驱、XYZ、XYZθ平台机种，应用于半导体封测、印刷电路板等应用领域。

其中被东佑达视为明日之星的「线马模组」系列产品，除了甫获得2022年台湾精品奖的「LGW系列轨道内嵌式线性马达机械手」，采用高精度内嵌式滚珠滑轨，搭配全新设计自制线性马达的模组化设计，而大幅缩小本体高度至64~75mm，为同级商品中最低、体积减少40%以上，相对减省设备所需安装空间时间及人工成本。

另因应市场对于精密定位、高速移载与微米、奈米之控制需求不断提升，东佑达今年更率先成立「东佑达奈米系统公司」，投入研发制造与销售奈米与微米级定位系统，推出高精度奈米级空气轴承/线性马达平台等一系列传动元件/系统新品，支援半导体、印刷电路板(PCB)、Micro/Mini LED等科技业高速运算领域。

东佑达表示，该公司奈米级平台系采取线性马达及滑轨的结构设计，除了精度比起一般螺杆更高，以1μm精度与自家线性马达模组市场区隔，不致于因为传统滚珠滑轨结构面对面接触、磨擦而生热或噪音，缩短使用寿命。进而搭配刚性与稳定度俱佳的天然花岗岩基座、空气轴承的专利「共面式结构」设计，共用同一基准面，克服在平面、正交垂直面上的直线X-Y轴上下堆叠设计，容易累积误差问题；并通过包括水平度、垂直度、Pitch、Roll、轴线性位移、Yaw等超高6D自由度精度验证，分别达到

此亦归功于东佑达利用自家厂内加工的优势，将节流元件直接崁入花岗岩基座再经过研磨，让空气通过而形成pad浮起台面。有别于国内外同业在机台四角以螺丝锁固节流元件方式，难以精准控制空气流量，一旦未调整好角度时，就会受到移动过程中震动而偏移、撞机，导致节流元件变形，未能使台面完全浮起，恐让结构长期摩擦受损。

反观东佑达奈米级空气轴承平台，即使撞机也不会失效，也会透过感测器监控气压是否足够，不足时停机以防止磨擦而失去精度。且因为经过不同角度通过的空气维持结构面零接触，甚至可实现高刚性与高承载能力，承受10G加减速度冲击。 「以此推算，倘若一般滑轨大约以1kg力道就能推动10kg物件，空气轴承便相当于可以相同力道推动100kg物件，降低所需马达规格、功率，既省钱又节能。」目前已成功售出数十部空气轴承单轴、龙门双驱、XYZ、XYZθ平台机种，应用于半导体封测产业的高速移载取放料、微钻孔精密加工、光罩检查、印刷电路板DI曝光机等应用领域。