据研究机构Information Network最新报告指出，半导体设备市场历经两年的低潮期已经开始逐渐复苏，因晶片业者纷纷在2003年增加资本支出，其中量测检测（Metrology and Inspection；M&I）系统设备的营收，较去年成长11.5％，预计2003年可达到近28亿美元的市场规模。

市场分析师Castellano指出，由于晶片制造迈进先进制程，更需要更新现有的检测设备以克服先进制程所增加的困难，据估计，光是新型12吋晶圆厂的兴建与设备过程，便占去M&I销售额的4成，若从量测检测设备市场的成长幅度推知，亦不难了解目前全球半导体业界已斥资在资本设备的投入之中。

根据Information Network的报告指出，估计全球量测检测设备市场将以12％的幅度成长，达到2005年时40亿美元的市场规模；然就整体半导体设备市场成长而言，该机构则预估在2003年将成长7.3％，虽然其预估成长幅度较另一研究机构VLSI的5.6％来得乐观，Castellano仍坚信景气复苏已经开始。

然而，并非所有的半导体设备皆有如M&I市场的高成长率，在微影设备市场方面，Information Network分析师预估2003年仅有近6％的成长空间；一则由于光罩高成本的因素影响，再则也由于近来英特尔（Intel）宣布将放弃157奈米微影技术。