受到這兩年來疫情影響國內外自動化工業展時程，各家自動化廠商紛紛於今年台北國際自動化工業展上，傾巢而出過去所累積的技術能量及產品。東佑達自動化公司（Toyo）則不僅在規劃「滑台模組」、「電動缸」、「單軸機械手」、「線馬模組」、「桌上型/直交機械手」、「無人搬運系統」6大展區，同時將透過新成立「東佑達奈米系統公司」，提供產業鏈最佳自動化解決方案。

目前東佑達奈米系統公司已成功售出數十部空氣軸承單軸、龍門雙驅、XYZ、XYZθ平台機種，應用於半導體封測、印刷電路板等應用領域。

其中被東佑達視為明日之星的「線馬模組」系列產品，除了甫獲得2022年台灣精品獎的「LGW系列軌道內嵌式線性馬達機械手」，採用高精度內嵌式滾珠滑軌，搭配全新設計自製線性馬達的模組化設計，而大幅縮小本體高度至64~75mm，為同級商品中最低、體積減少40%以上，相對減省設備所需安裝空間時間及人工成本。

另因應市場對於精密定位、高速移載與微米、奈米之控制需求不斷提升，東佑達今年更率先成立「東佑達奈米系統公司」，投入研發製造與銷售奈米與微米級定位系統，推出高精度奈米級空氣軸承/線性馬達平台等一系列傳動元件/系統新品，支援半導體、印刷電路板(PCB)、Micro/Mini LED等科技業高速運算領域。

東佑達表示，該公司奈米級平台係採取線性馬達及滑軌的結構設計，除了精度比起一般螺桿更高，以1μm精度與自家線性馬達模組市場區隔，不致於因為傳統滾珠滑軌結構面對面接觸、磨擦而生熱或噪音，縮短使用壽命。進而搭配剛性與穩定度俱佳的天然花崗岩基座、空氣軸承的專利「共面式結構」設計，共用同一基準面，克服在平面、正交垂直面上的直線X-Y軸上下堆疊設計，容易累積誤差問題；並通過包括水平度、垂直度、Pitch、Roll、軸線性位移、Yaw等超高6D自由度精度驗證，分別達到<1μm、1marc sec。

此亦歸功於東佑達利用自家廠內加工的優勢，將節流元件直接崁入花崗岩基座再經過研磨，讓空氣通過而形成pad浮起檯面。有別於國內外同業在機台四角以螺絲鎖固節流元件方式，難以精準控制空氣流量，一旦未調整好角度時，就會受到移動過程中震動而偏移、撞機，導致節流元件變形，未能使檯面完全浮起，恐讓結構長期摩擦受損。

反觀東佑達奈米級空氣軸承平台，即使撞機也不會失效，也會透過感測器監控氣壓是否足夠，不足時停機以防止磨擦而失去精度。且因為經過不同角度通過的空氣維持結構面零接觸，甚至可實現高剛性與高承載能力，承受10G加減速度衝擊。「以此推算，倘若一般滑軌大約以1kg力道就能推動10kg物件，空氣軸承便相當於可以相同力道推動100kg物件，降低所需馬達規格、功率，既省錢又節能。」目前已成功售出數十部空氣軸承單軸、龍門雙驅、XYZ、XYZθ平台機種，應用於半導體封測產業的高速移載取放料、微鑽孔精密加工、光罩檢查、印刷電路板DI曝光機等應用領域。