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STS深蝕刻設備獲精材科技採用
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2003年11月05日 星期三

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矽晶深蝕刻製程設備業者Surface Technology Systems(STS)宣佈,該公司已取得台灣封裝業者精材科技訂單;精材科技表示,該公司為了爭取需求迅速增加的光學感測器市場,將配合現有的STS蝕刻機,安裝 STS 進階矽晶蝕刻(ASE)系統。

精材科技表示,該公司選擇 STS 蝕刻系統對該公司製程關鍵步驟很有幫助,而在擴展產量的同時,STS亦能提供技術支援與服務。STS目前透過與台灣代理商佳霖科技之合作,拓展本地的業務和提升客戶服務品質。這兩家公司最近在精材科技的供應商和廠商調查中,共同被評選為「冠軍供應商」。

STS 向來在矽晶深蝕刻製程技術具備長期經驗,特別是在微機電(MEMS)生產部門,其中超過80%的量產廠商使用 ASE 製程。STS 的根基建立在優良的效能、複製性和 10 多年矽晶深蝕刻應用的經驗上,能夠繼續擴展其 ASE 系統的能力,將這些系統用於各種先進晶圓級封裝應用中的關鍵蝕刻步驟。

關鍵字: STS  其他儀器設備 
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