因应5G与高效能运算先进制程商机，半导体设备产业需求强劲，工研院与台湾机械工业同业公会及德国创浦集团（TRUMPF）三方也在今（2）日签署合作意向书（MOU），在经济部部长王美花与德国经济办事处处长林百科（Axel Limberg）见证下，宣示将携手成立「台湾半导体与电子产业先进雷射应用服务中心」。结合德国最先进的高阶雷射源，搭配国产客制化的大银微平台与工研院的制程光路模组，为台湾半导体设备商提供关键升级技术，协助台湾的半导体产业更添战力。

图前排由右到左为工研院协理吴诚文、机械公会理事长柯拔希及台湾创浦总经理郑勇志。

经济部长王美花表示，该合作案对台湾产业有三个重大的意义：首先，德国创浦集团是艾司摩尔(ASML)EUV设备极紫外光雷射源的供应夥伴，在雷射源及工具机的产值皆为全球前三，可为台湾产业带来一个非常大的盟友；第二个重要意义是，创浦带来先进技术、机械公会带来客户，工研院有系统整合的能力，将带起整体产业技术服务能量，为台湾雷射设备产业发展带来新契机；第三个意义是在半导体後段封装制程当中，如何尽可能不损坏晶粒，完成晶圆切割，雷射源的好坏将直接影响加工品质。但是高阶雷射源设备成本高、测试开发时间漫长，现在则可藉此中心让有需要导入高阶雷射源的业者打样测试，抢占商机。

机械公会理事长柯拔希表示，2020年受到新冠肺炎疫情影响，全球经济陷入困境，以机械产业来看，全球机械产业皆陷入衰退，台湾机械业 1~7月出囗值为144.8亿美元，也较上年同期减少10.0%。不过，令人惊喜的是检量测设备较2019年同期成长5.1%，电子设备较上年同期成长2.5%，显示台湾在半导体电子产业与相关设备仍具全球竞争力。

由於雷射技术可应用於量测、检测、切割、焊接和各式精微加工应用等，无论是对品质可控的要求、对先进加工和生产效率的需求，还是最终构建成人机互动的智能工厂，对我国机械产业之长远发展非常重要，期许未来三方合作提供国内产业应用发展不可或缺的平台，减少各公司重复投资与提升技术研发效率，相信可成为推动我国制造业转型升级以及提升产品附加值的重要关键技术。

台湾创浦总经理郑勇志进一步表示，雷射加工相关设备与应用需求愈来愈广，创浦集团除与国际半导体设备大厂ASML共同合作开发的极紫外光EUV光刻机外；自行研发制造的超快飞秒fs/皮秒ps先进雷射源技术，更是在微加工领域广受国际电子设备大厂采用，是当前「半导体奈米制程竞赛」中不可或缺的设备。

台湾是全球半导体重点市场之一，创浦集团继今年在南科与合作夥伴共同成立技术培训中心，此次进一步叁与台湾半导体设备产业的合作，将持续为高科技业导入最新雷射技术，期盼透过台德双方之技术合作，强化台湾国际竞争力，共创新商机。

工研院协理吴诚文表示，未来的新兴科技应用发展，从底层终端装置、联网器，到最上层云端平台架构，皆须仰赖半导体技术的基础做後盾，在工研院推动的2030技术策略与蓝图中的永续环境领域，也以此为发展的重点之一。

机械公会拥有国内主要的设备供应商会员，创浦则为世界第一大雷射厂商，掌握众多高阶雷射源产品，未来结合工研院深耕多年的高功率雷射加工或是精微雷射加工制程，可??在台湾研发出半导体与电子产业专用的高阶雷射源及设备，扩大国内半导体设备产业供应链的国际输出。身兼工研院南分院执行长的吴诚文表示，过去国际大厂来台投资偏向於设在北部，此次规画的「台湾半导体与电子产业先进雷射应用服务中心」将进驻工研院六甲院区，希??抛砖引玉带动更多高科技研发中心在南台湾设立据点。

由机械公会、德国创浦集团与工研院打造的先进雷射应用服务中心，将提供设备厂商快速测试打样的机会，透过引进德国创浦的高阶精微加工雷射源，由工研院依据制程需求客制开发光学与控制模组并进行系统整合，完成後可以迅速与机械公会会员移机到客户端进行生产测试。此中心预计将於今年底前设置完成，将带来一个崭新、快速的设备供应模式，协助国内设备商以雷射应用强化非接触精微加工设备供应，巩固台湾半导体在全球供应链的地位。