SCREEN Semiconductor Solutions和CEA Tech旗下的研究机构Leti已加强合作，将在Leti的基地安装奈秒级紫外线(UV)雷射退火LT-3100系统，该系统将由总部位于法国的SCREEN旗下子公司Laser Systems and Solutions of Europe (LASSE)提供。

SCREEN Semiconductor Solutions与Leti 扩大合作范围至涵盖雷射退火技术

Leti执行长Marie Semeria表示：「将SCREEN的奈秒级紫外线雷射退火刀具引进到Leti先进的前工业化设备基础设施中，将为现场部署当前和未来科技带来新的创新机会。随着SOI、 CoolCube和奈米线科技的发展，我们在开发新材料性能和超薄膜改性且将热影响降至最低方面正面临日益严峻的挑战。利用LT-3100系统将催生带来技术突破的解决方案，并最终带动业界开发实用型实物模型。」

SCREEN Semiconductor Solutions总裁Tadahiro Suhara表示：「继长期与Leti保持成功的共同开发合作之后，我们非常高兴能有此机会为Leti的生态系统带来我们的雷射技术，以因应『超越摩尔定律』(More than Moore)、物联网和未来创新科技的需要。除了合作活动之外，我们还将利用Leti的先进基础设施来营运我们的LASSE欧洲示范实验室，从而赋予我们的客户前所未有的示范基础设施能力。我们期望展现奈秒级紫外线雷射设备技术和资源带来的创新价值，从而在由Leti所支持的多个研发领域推动半导体制程的开发。 」

雷射刀具可望于2017年上半年全面投产，并将支援多种晶圆尺寸要求，从而符合Leti实验室的不同需求。 (source: BUSINESS WIRE)