外电消息报导,国际半导体制造联盟(International Sematech)日前表示,18吋晶圆的生产设备样本,将有望在2010年推出,而提供试产线(pilot line)使用的设备,也将在2012年问世。
Sematech表示,将于2012年推出的18吋晶圆试产线设备,将采用22奈米节点,以因应新一代的晶圆制程需求。至于实际的18吋晶圆量产时间,Sematech则未明确说明,仅表示时间点会受到整体经济景气和技术需求等各种因素影响。
据报导,目前许多半导体厂对18吋晶圆抱持乐观的态度,但设备商却不怎么看好,原因是多数设备商都不愿意投资18吋晶圆设备的研发。但Sematech副总裁Scott Kramer表示,这样的情况已逐渐改变,有多家业者已有开发18吋晶圆工具的意愿。
而为了推动18吋晶圆生产,Sematech除了订定相关标准和设立测试平台外,Sematech还发起了一个「Next Generation Factory,NGF」的计划,以降低目前的12吋厂的制造成本与生产周期,并预计在2012年完成这项计划。