Information Network 最新报告预估，2002年全球前端半导体设备市场将比2001年成长8.2﹪该年全球半导体量测(Metrology)与检验(Inspection)设备市场规模将达61亿美元，比2001年的45.8亿美元增加33.2﹪。

报告另估计，2002年全球为距扫描式电子显微镜(Critical Dimension-Scanning Electron Microscope；CD-SEM)市场规模成长45.1﹪，达15亿美元。2002年全球芯片缺陷检验设备(wafer-defect inspection) 市场规模将达37亿美元，成长率为28.1﹪2002年全球自动缺陷检视(automated defect ；defect review)设备市场规模将增加34﹪达9亿美元。