据Digitimes报导，尽管大陆北京与广州等地SARS疫情蔓延，但当地由政府刻意扶植并大笔投资的半导体产业似乎未受到太大的影响，兴建新晶圆厂的投资脚步亦未曾减缓，仍将持续按照既定时程进行。

据半导体业者表示，虽然SARS的确影响大陆整体经济发展，市场需求也出现明显萎缩，但对于大陆的高科技产业来说，目前并没有任何影响，相关晶圆厂的投资计画也没有因SARS而减缓脚步。根据市调机构Strategic Marketing Associates的统计数据，在2003年～2004上半年间，预计全球将有36座晶圆厂投入兴建，其中约有24座晶圆厂将在2004年第二季前开始启用；至于在新厂实际投入金额方面，全球在2004年上半前以大陆投入在新晶圆厂的资金最多，其次分别为美国、日本及台湾。

该机构分析师George Burns指出，就新设晶圆厂资本支出比例来看，亚太地区的厂商首次超越其他地区厂商，占全球晶圆厂资本支出比例达45.5％，而北美地区厂商资本支出仅占30.2 ％。值得注意的是，大陆半导体产业资本支出（含盖新厂支出）在2003年达到36亿美元，较2002年的17亿美元规模，成长幅度超过100％。

2003年第一季全球有5个晶圆厂展开兴建，相较之下，2002年第四季与2002年第一季分别只有2个新设晶圆厂。 Burns表示，南韩三星（Samsung）已开始在韩国装设Fab 12，而Hynix也计划在南韩兴建1座新厂，在亚洲地区将可看到相当大手笔的新厂投资案在进行；在日本方面，由东芝（Toshiba）、新力（Sony）及Elpida等筹建的300mm晶圆厂投资案，也正在进行中。