微電機架構（Micro-Electrical Mechanical Structure；MEMS）的壓力感測器的應用十分廣泛。包括電器類製品、醫療以及汽車工業等方面都可以見到它的蹤影。在電器類製品方面，它可以用在水位偵測（例如洗衣機或洗碗機），或是真空吸塵器的壓力偵測上。在汽車工業方面，偵測歧管絕對壓力（manifold absolute pressure；MAP）、或是胎壓偵測（tire pressure monitoring；TPM）等等，都是常見的應用。醫療應用則包括血壓監測、子宮內壓監測，以及防止睡眠時呼吸中斷的裝置等。其它類的應用還包括空調流通偵測 （heating、ventilation、air conditioning、HVAC）、高度計及晴雨計等等。

由於壓力感測器的用途甚為廣泛，因此它適用的媒介以及可靠度便成了人們最關注的範疇。大多數的應用都要求感測器必須在嚴苛的環境裡維持長時間運作（例如汽車零件就必須維持至少十年以上的壽命）。雖然這些裝置應在潔淨乾燥的空氣中運作，然而大多數實際的應用多少都會暴露在較差的環境下，例如潮濕的環境。要在壓力感測器市場上佔有一席之地，就必須提供絕對可靠的裝置。由於MEMS的架構會直接接觸量測環境，因此壓力感測器對於可靠度的要求又更為嚴格。這對封裝技術帶來了更大的挑戰。本文也會針對封裝的部分做探討。

裝置結構
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