全自動化晶圓廠的概念已經有一段時間，隨著引入高生產能力的300mm製造技術，它亦更加接近現實。最終用戶與設備製造商、研發人員和業界組織機構緊密合作，通過技術開發和標準化，產業界建立“操作有序”的工廠，提供了極具價值的思路。成功的自動化製造廠需要正確的規劃和組成因素（fab設計、自動化材料處理系統AMHS、工具規格和軟體應用程式）以及對fab轉換（增長、能力、擴展）的規劃。然而，需要解決的問題仍然存在：設備和運載工具的互用性、軟體的穩定性以及硬體的可靠性。

200與300 mm的比較

數年前，fab被建造得既靈活又強健，包括自始至終對微塵進行嚴格的控制、足夠的高架空間、在fab上下的支援空間以及用以確保振動控制的厚重板層。佈局時通常會考慮儘量縮短材料通過 fab 的路程。工具被分成組，以方便製造人員操作多個工具。這些因素不再重要，300 mm 製造廠的設計現在受成本、人機工程學和自動化的影響。
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