全自动化晶圆厂的概念已经有一段时间，随着引入高生产能力的300mm制造技术，它亦更加接近现实。最终用户与设备制造商、研发人员和业界组织机构紧密合作，通过技术开发和标准化，产业界建立“操作有序”的工厂，提供了极具价值的思路。成功的自动化制造厂需要正确的规划和组成因素（fab设计、自动化材料处理系统AMHS、工具规格和软件应用程序）以及对fab转换（增长、能力、扩展）的规划。然而，需要解决的问题仍然存在：设备和运载工具的互用性、软件的稳定性以及硬件的可靠性。

200与300 mm的比较

数年前，fab被建造得既灵活又强健，包括自始至终对微尘进行严格的控制、足够的高架空间、在fab上下的支持空间以及用以确保振动控制的厚重板层。布局时通常会考虑尽量缩短材料通过 fab 的路程。工具被分成组，以方便制造人员操作多个工具。这些因素不再重要，300 mm 制造厂的设计现在受成本、人机工程学和自动化的影响。
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