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剖析MEMS技術之消費性應用
 

【作者: 陸向陽】   2007年11月30日 星期五

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近年來微機電系統(MicroElectroMechanical Systems;MEMS)一詞可說是愈來愈熱門,但許多人仍不解其意,在本文開始之前或許能做些說明。


許多人都知道何謂積體電路(Integrated Circuit;IC),IC是將電路中的電阻、電容、二極體、電晶體等電子元件及線路,不斷以更精巧、更縮密的尺寸來製造,即是將電子電路微縮化,此可稱為微電子、微電路。


將同樣的道理從電子領域對應到機械領域,MEMS就是不斷將機械性元件以更微縮的方式來製造,此可稱為微機械,微電子包含微電子元件與微電子線路,而微機械也包含微機械元件與微機械結構,不過MEMS除了具有微機械外同時也搭配上微電子,讓機械與電子融合、接軌,如此在極小的尺寸內同時有機械與電子功效,就稱為MEMS。
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