对于晶圆量测来说，高频测试一般都是达到110GHz的频率。我们可以看到以往用于晶圆测试的设备，主要的模组限制都是在这个频率上。

一般来说，晶圆测试都是在晶圆上透过自动化探针台自动去寻找晶圆上的目标，自动点击以进行量测，因此对探针与探针台的要求非常高，这也是晶圆制造商最在意的效能。

高频晶圆测试
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