虽然许多感测元件都是基于矽，但有些功能只能透过机械元件来执行，而且最近这些机械元件已经小型化，以满足当下汽车应用需求。使用高阶的微制造技术，可以将电子零元件、感测器和高度小型化的机械元件添加到普通矽基板中。这些微机电系统（MEMS）为高度自动化的车辆开辟了许多新感测机会，同时能够提供高可靠性，减少占用空间并节省成本。

市场上有许多不同类型的MEMS感测器，它们通常分为四个主要类别：
...
...